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想用黑白相機配三色光源可否檢測IC腳變形？吸盤將IC吸起，相機從下向上拍照，檢測IC腳水平方向腳變形和單腳上下翹起變形。這種配置是否可行？

看你要求的精度，尤其是Z方向的檢測。
如果要求精度不高，用樓主所說的方案可以檢測出來，可能主要問題在Z方向的形變上。
如果要示精度比較高，建議使用3D來檢測。
另外視覺方案評估，最好給出詳細的技術參數，例如：
產品尺寸范圍（涉及視野確定），最終要求檢測數據的公差范圍，產品檢測節拍，工作距離要求等。
只有以上數據清楚了，才能給出專業合理的評估方案。否則，都是兩可的半吊子方案，實施時會出問題的。

吸起來也可以保持同一個高度的，吸嘴選用帶支撐的就行。